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實驗型氧化亞硅設備適配實驗室小批量研發，集成真空加熱、研磨分散、冷凝收集核心模塊，支持多溫區精準控溫與高真空環境作業，溫控精度高、粒度調節靈活，可完成氧化亞硅制備全流程實驗，滿足材料配方優化、工藝參數調試需求。